＜Barometrischer Drucksensor＞

Was ist ein barometrischer Drucksensor?

Ein barometrischer Drucksensor ist ein Sensor, der den atmosphärischen Druck erfasst.
Es gibt verschiedene Arten von Drucksensoren, die je nach zu messenden Druckwerten unterschiedliche Materialien und Methoden verwenden, wie unten dargestellt.
Unter diesen Sensoren werden diese, die den atmosphärischen Druck erfassen, als barometrische Drucksensoren bezeichnet.

【Drucksensoren nach Materialien/Methode】

Ein typisches Beispiel für einen barometrischen Drucksensor ist ein piezoresistiver Sensor, der Silizium-Halbleiter verwendet.
ROHM-Luftdrucksensoren sind piezoresistive Typen.

Piezoresistiver Drucksensor

Der piezoresistive Drucksensor verwendet eine Si-Einkristallplatte als Membran (druckaufnehmendes Element) und bildet durch Diffusion von Verunreinigungen auf seiner Oberfläche eine Widerstands-Brückenschaltung.

【 Piezoresistiver Drucksensor】

ROHMs barometrisches Drucksensor-IC kombiniert ein piezoresistives Drucksensorelement (*MEMS, das eine Membranstruktur und ein piezoresistives Element integriert) mit einem integrierten Schaltkreis (*ASIC). Dieser enthält eine Temperaturkompensationsfunktion und einen Steuerschaltkreis in einem einzigen Gehäuse. Somit werden hochgenaue Druckinformationen erhalten.

(Micro-Electro-Mechanical Systems)
Ein Bauteil, das mechanische Komponenten, Sensoren, Aktoren (Antriebseinheiten) usw. auf einem einzigen Substrat integriert.
(Anwendungsspezifische integrierte Schaltung)
Ein integrierter Schaltkreis, der mehrere Schaltkreisfunktionen für einen bestimmten Zweck kombiniert.