piezoelektrische Dünnschicht-MEMS
piezo-bezogenene Terminologie

piezo-bezogenene Terminologie

Auf dieser Seite finden Sie eine kurze Erklärung zur piezo-bezogenen Terminologie.

Terminologie Definition
Piezo Piezoelektrisches Element/Gerät
piezoelektrischer Effekt Durch meschanichen Druck ensteht eine elektrische Spannung am Element.
umgekehrter piezoelektrischer Effekt Materialien verformen sich beim Anlegen einer elektrischen Spannung.
Piezoelement Bauteile, die den Piezoeffekt oder den inversen Piezoeffekt ausnutzen
Sensor Bauteil, das durch Anwendung wissenschaftlicher Prinzipien und Informationen in elektrische Signale umwandelt
Aktor Antriebsgeräte, die ein elektrisches Signal in mechanische Bewegungen umsetzen
Ion Ein Ion ist ein elektrisch geladenes Atom oder Molekül.
Piezoelektrische Materialien Jedes kristalline Material, das piezoelektrische Eigenschaften aufweist
Piezoelektrische Einkristalle Piezoelektrisches Material mit einer gleichmäßigen inneren kristallinen Struktur
Piezoelektrische Keramiken Piezoelektrisches Material mit einer Korn- oder Domänenwandstruktur
Kornstruktur Eine Grenzfläche, die zwischen zwei oder mehreren kleinen Kristallen in einem Polykristall besteht
Domänenwand Eine Struktur, in der Grenzflächen verschiedener Polarisationsrichtungen im Kristall existieren
Polarisation Eine Verschiebung von Ladungen durch ein äußeres elektrisches Feld
PZT Blei-Zirkonat-Titanat (PbZrxTi1-xO3) (O<x<1)
Sputtern Ein Verfahren zur Filmbildung, bei der Atome aus einem Festkörper durch Beschuss mit hochenergetischen Teilchen herausgelöst werden
Dünnschichtabscheidung / CSD (chemical solution deposition) Dünnschichtabscheidung / CSD (chemical solution deposition)
Verfahren zur Dünnfilmbildung, bei der ein Substrat zunächst mit einer Lösung (aus organischen Säuresalzen und Verbindungen) benetzt und diese Schicht verfestigt wird
Sol-Gel-Verfahren Eine Art von CSD, ein Verfahren zur Herstellung eines dünnen Films durch Erhitzen und anschließendes Brennen einer Flüssigkeit im Sol-Zustand
Sol-Zustand Ein Kolloid mit Flüssigkeit als Dispersionsmedium (z. B. Seifenwasser, Klebstoff, Eiweiß, Milch, Mayonnaise)
Gel-Zustand Zustand, in dem die Liquidität des Solzustands nicht mehr vorhanden ist
MOCVD Verfahren zur metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (metal-organic chemical vapour deposition) zum Züchten von Kristallen unter Verwendung von organischem Metall oder Gas als Ausgangsmaterial
Footprint Der belegte Bereich, hier bezogen auf den Bereich, in dem das Gerät platziert ist
Piezoelektrizität Ein Dielektrikum, das eine Polarisation (Spannung) erzeugt, wenn eine Spannung angelegt wird
pyroelektrisch Ein piezoelektrisches Material, das ohne ein äußeres elektrisches Feld spontan polarisiert wird
ferroelektrisch Ein pyroelektrisches Material mit der Eigenschaft, die Richtung der Polarisation durch ein äußeres elektrisches Feld zu ändern.
piezoelektrische Dünnschichtmodule Ein Piezo-Bauteil mit einer piezoelektrischen Materialstärke von mehreren μm
Piezo-Bulk-Ware Ein Piezo-Bauteil mit einer piezoelektrischen Materialdicke im zweistelligen μm-Bereich

ROHM bietet ein Wafer-Herstellungsverfahren für piezoelektrische Dünnschicht-MEMS, mit dem Kunden ihre Designs und Innovationen verwirklichen können.

> Wafer-Herstellungsverfahren für piezoelektrische Dünnschicht-MEMS

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