piezoelektrische Dünnschicht-MEMS
piezo-bezogenene Terminologie
piezo-bezogenene Terminologie
Auf dieser Seite finden Sie eine kurze Erklärung zur piezo-bezogenen Terminologie.
| Terminologie | Definition |
|---|---|
| Piezo | Piezoelektrisches Element/Gerät |
| piezoelektrischer Effekt | Durch meschanichen Druck ensteht eine elektrische Spannung am Element. |
| umgekehrter piezoelektrischer Effekt | Materialien verformen sich beim Anlegen einer elektrischen Spannung. |
| Piezoelement | Bauteile, die den Piezoeffekt oder den inversen Piezoeffekt ausnutzen |
| Sensor | Bauteil, das durch Anwendung wissenschaftlicher Prinzipien und Informationen in elektrische Signale umwandelt |
| Aktor | Antriebsgeräte, die ein elektrisches Signal in mechanische Bewegungen umsetzen |
| Ion | Ein Ion ist ein elektrisch geladenes Atom oder Molekül. |
| Piezoelektrische Materialien | Jedes kristalline Material, das piezoelektrische Eigenschaften aufweist |
| Piezoelektrische Einkristalle | Piezoelektrisches Material mit einer gleichmäßigen inneren kristallinen Struktur |
| Piezoelektrische Keramiken | Piezoelektrisches Material mit einer Korn- oder Domänenwandstruktur |
| Kornstruktur | Eine Grenzfläche, die zwischen zwei oder mehreren kleinen Kristallen in einem Polykristall besteht |
| Domänenwand | Eine Struktur, in der Grenzflächen verschiedener Polarisationsrichtungen im Kristall existieren |
| Polarisation | Eine Verschiebung von Ladungen durch ein äußeres elektrisches Feld |
| PZT | Blei-Zirkonat-Titanat (PbZrxTi1-xO3) (O<x<1) |
| Sputtern | Ein Verfahren zur Filmbildung, bei der Atome aus einem Festkörper durch Beschuss mit hochenergetischen Teilchen herausgelöst werden |
| Dünnschichtabscheidung / CSD (chemical solution deposition) | Dünnschichtabscheidung / CSD (chemical solution deposition) Verfahren zur Dünnfilmbildung, bei der ein Substrat zunächst mit einer Lösung (aus organischen Säuresalzen und Verbindungen) benetzt und diese Schicht verfestigt wird |
| Sol-Gel-Verfahren | Eine Art von CSD, ein Verfahren zur Herstellung eines dünnen Films durch Erhitzen und anschließendes Brennen einer Flüssigkeit im Sol-Zustand |
| Sol-Zustand | Ein Kolloid mit Flüssigkeit als Dispersionsmedium (z. B. Seifenwasser, Klebstoff, Eiweiß, Milch, Mayonnaise) |
| Gel-Zustand | Zustand, in dem die Liquidität des Solzustands nicht mehr vorhanden ist |
| MOCVD | Verfahren zur metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (metal-organic chemical vapour deposition) zum Züchten von Kristallen unter Verwendung von organischem Metall oder Gas als Ausgangsmaterial |
| Footprint | Der belegte Bereich, hier bezogen auf den Bereich, in dem das Gerät platziert ist |
| Piezoelektrizität | Ein Dielektrikum, das eine Polarisation (Spannung) erzeugt, wenn eine Spannung angelegt wird |
| pyroelektrisch | Ein piezoelektrisches Material, das ohne ein äußeres elektrisches Feld spontan polarisiert wird |
| ferroelektrisch | Ein pyroelektrisches Material mit der Eigenschaft, die Richtung der Polarisation durch ein äußeres elektrisches Feld zu ändern. |
| piezoelektrische Dünnschichtmodule | Ein Piezo-Bauteil mit einer piezoelektrischen Materialstärke von mehreren μm |
| Piezo-Bulk-Ware | Ein Piezo-Bauteil mit einer piezoelektrischen Materialdicke im zweistelligen μm-Bereich |
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> Wafer-Herstellungsverfahren für piezoelektrische Dünnschicht-MEMS
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